1.潔凈度

        潔凈度是潔凈室的基本的技術指標，其單位是單位體積的空氣中粒徑不小于某一尺寸的微粒個數。

        2.微生物濃度

        微生物濃度時潔凈室的另一項重要技術指標，其單位是單位體積的空氣中微生物的個數。

        3.溫度

        溫度時基本的工作條件，幾乎所有的潔凈室對于溫度都有明確的要求，溫度會影響物體的尺寸，從而影響加工的精確度，所以精密加工對于溫度有相當嚴格的要求，溫度會影響儀器的參數，從而產生誤差，所以精密測量儀器對于溫度的要求也較高。

        4.濕度

        濕度也是基本的工作條件，幾乎所有的潔凈室對于濕度都有明確的要求，濕度較大會使許多物質發生化學反應，從而影響產品質量，甚至使設備失效，產品報廢。

        5.風速與風量

        足夠的風速和風量是潔凈度的保證，過大的風速與風量不僅浪費能量，而且有時會影響正常的工作。

        6.氣壓與壓差

        正常的氣壓式正常工作的基本條件。必要的壓差是控制漏氣方向的手段。微電子行業的潔凈室為了保證潔凈度，不允許低潔凈度的空氣向高潔凈度區域泄露。

        7.噪聲

        過大的噪聲不僅會影響正常的工作，而且會影響人員的身體健康，降低噪聲是潔凈室的一項基本要求。

        8. 照度

        適當的照度是正常工作的必要條件。

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