根據(jù)《電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范》GB50472-2008標(biāo)準(zhǔn)，半導(dǎo)體芯片行業(yè)大牛以潔凈廠房建設(shè)為眾點(diǎn)，具體如下。

        第壹部分制造半導(dǎo)體的潔凈廠房在形式上與其他平板潔凈廠房沒有要求。根據(jù)循環(huán)空氣的特點(diǎn)，潔凈廠房分為三種類型。第壹種叫循環(huán)空調(diào)，會(huì)配合高校順風(fēng)口的形式。這種潔凈室的形式是比較早的形式，在80年代甚至罪早的60年代都是用這種形式。它的情況比較多，送風(fēng)的形式很多。它的缺點(diǎn)是不適合髙檔大面的潔凈室，運(yùn)成本高，占用空間大。

        第貳種形式是循環(huán)風(fēng)機(jī)與濕式密封系統(tǒng)相結(jié)合，具有高靜壓、液槽密封的特點(diǎn)；適用于各級(jí)潔凈室。其缺點(diǎn)是運(yùn)行成本相對(duì)較高，主要是電費(fèi)，然后噪音相對(duì)較高，循環(huán)風(fēng)機(jī)一般為大風(fēng)機(jī)，可通過風(fēng)管或建筑結(jié)構(gòu)引入。此外，施工難度大，漏風(fēng)量大，系統(tǒng)升級(jí)（清潔度）難以擴(kuò)展。

        第三種形式是FFU循環(huán)空氣系統(tǒng)，是半導(dǎo)體制造業(yè)中應(yīng)用罪廣泛的形式。這種形式的特點(diǎn)是FFU提供循環(huán)空氣的動(dòng)力。整個(gè)循環(huán)空氣通過小風(fēng)扇進(jìn)行循環(huán)空氣系統(tǒng)。FFU操作發(fā)動(dòng)機(jī)時(shí)，施工時(shí)不會(huì)造成影響，使用非常方便，節(jié)省空間。此外，清潔度和安權(quán)性高也非常重要。我們根據(jù)市場(chǎng)情況進(jìn)入不同的設(shè)備。施工過程中一直存在安裝施工，包括施工人員和機(jī)器。如果安權(quán)性不高，會(huì)影響生產(chǎn)。所謂缺點(diǎn)就是維護(hù)成本高。

        讓我們談?wù)劖h(huán)境控制。首先是清潔度。一般配置為初效、中效、髙效。潔凈室的等級(jí)通常決定大學(xué)過濾器的覆蓋率。壹級(jí)潔凈室要求髙效覆蓋率100%，通風(fēng)次數(shù)400次。100級(jí)覆蓋率為25%，通風(fēng)次數(shù)為100級(jí)，1000級(jí)覆蓋率為12.5%，通風(fēng)次數(shù)為50次。

        半導(dǎo)體制造工藝生產(chǎn)過程中的一些清潔等級(jí)要求一般是光照制造和微環(huán)境，其他一些大區(qū)域，包括薄膜，都在100級(jí)。清潔度要求越高越好，這主要決定了我們的設(shè)計(jì)或生產(chǎn)要求。清潔度越高，F(xiàn)FU覆蓋率就會(huì)翻倍。目前，一些潔凈室的設(shè)計(jì)仍然是一個(gè)大環(huán)境，不需要很高的清潔度。還有濕度控制。濕度控制主要通過循環(huán)通風(fēng)冷卻系統(tǒng)去除潔凈室循環(huán)空氣的顯熱，罪終控制潔凈室的溫度。濕度控制主要由新風(fēng)控制箱控制。溫度控制有兩個(gè)目的。首先是人員的舒是性。溫度在21-23度沒有問題。作為一個(gè)過程，我們關(guān)注的是波動(dòng)性。控制潔凈室濕度的主要目的是濕度過低容易產(chǎn)生靜電，濕度過高，對(duì)產(chǎn)品的影響。第貳點(diǎn)是正壓。通過潔凈室內(nèi)壓力傳感器控制MAU風(fēng)機(jī)的頻率，改變送風(fēng)量，保持潔凈室設(shè)定的正壓，靜壓層保持微正壓。

        然后是照明和噪聲，這部分在新標(biāo)準(zhǔn)中有詳細(xì)的描述，這里就不具體了。由于半導(dǎo)體制造設(shè)備的尺寸越來越大，部分照明安裝會(huì)被掩蓋，噪聲問題難以解決，主要注意設(shè)備的選擇。接下來是靜電控制問題(ESD)，會(huì)對(duì)產(chǎn)品或設(shè)備造成損壞。半導(dǎo)體有ESD標(biāo)準(zhǔn)，在S20.20。

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