千級無塵車間如何防止微粒子污染?
2022-07-22 來自: 海博爾凈化工程有限公司 瀏覽次數:199
所謂無塵車間,就是要求每立方米嚴格控制在每立方米1000以內,俗稱行業1K水平、千級無塵車間一般用于光學結構產品的生產,目前用于芯片生產加工高芯片生產,無車間顆粒污染,會導致產品合格率嚴重下降,如何防止生產中的顆粒污染?
防止微粒子污染的千級無車間應遵循以下三個基本原則:
一、不要隨身攜帶:
千級無塵車間不攜帶顆粒的方法如下:
操作人員進入車間前,應在帶入前清洗機器和零件;
進入無塵車間的人員應穿戴無塵服裝、帽子、鞋子、手套、口罩等。,并在室內使用特殊的導電纖維原料,不散發灰塵和靜電;
通過空氣淋浴房時,在進入無塵車間前,用高速清潔空氣清潔衣服外觀上的顆粒;
進入無塵車間前,機器和數據應盡可能密封進入無塵車間前室,維修后用超純水擦洗,風淋室吹掃后進入無塵車間。
二、不生產:
在控制污染源千級無塵車間人員產生的顆粒粉塵星中,還應控制其他污染源制造機器產生的粉塵量。當物體移動時,碰撞和接觸剝離會產生灰塵,物體在移動時也會受到顆粒物的攻擊。因此,為了盡可能減少粉塵的產生,應采取以下措施:
切割接觸剝離粉塵的動作形式;選擇磨損小、粉塵小的原材料;選擇含少量粉塵的潤滑油;本機采用氣壓浮動的非接觸式工作原理。
三、無存儲:
若完全實施"無攜帶"技術可以保持千級無塵車間的清潔。然而,在實踐中,由于人員和物品的頻繁接觸和制造機器的啟動,不可能在巨大的無塵車間內完全清潔。因此,它可以快速應用于過濾器"無存儲技術清理已發生的顆粒非常重要。通常,根據重力和靜電吸附,已發生的顆粒會停留在周圍物體的表面。突然的振蕩和不穩定的氣流會使這些積聚的顆粒在空氣中再次上升,增加主要顆粒污染的風險。總之,準確控制空氣的流動方向,特別是確保氣流的流動路徑向各個方向延伸。如果流道內有障礙物,很容易產生空氣漩渦,形成空氣滯留區,使附近的顆粒無法快速掃過,在無塵室內長時間漂移,并在周圍機械設備的外觀上附著一根樹枝,造成污染。
關于如何防止千級無塵車間的顆粒污染,我們只是從這三個方面注意保護。在生產中,要嚴格遵循這些原則,大大提高產品合格率,提高工廠的經濟效益。