電子半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間的環(huán)境與生產(chǎn)要求

隨著半導(dǎo)體制程技術(shù)的飛速發(fā)展，芯片線寬已經(jīng)進(jìn)入納米級(jí)，相應(yīng)的產(chǎn)品對(duì)半導(dǎo)體產(chǎn)品生產(chǎn)環(huán)境的要求也越來(lái)越高，因此半導(dǎo)體凈化工程潔凈室內(nèi)系統(tǒng)的運(yùn)行狀態(tài)對(duì)硅芯片品質(zhì)和通過(guò)率的影響舉足輕重，凈化潔凈室的潔凈等級(jí)也需要有一個(gè)公認(rèn)的標(biāo)準(zhǔn)，比如以Class10為例，意謂在單位立方英寸的潔凈室空間內(nèi)，平均只有粒徑0.5微米以上的粉塵10粒。所以Class后頭數(shù)字越小，潔凈度越佳，當(dāng)然其造價(jià)也越昂貴。

半導(dǎo)體凈化車(chē)間潔凈度等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)及要求半導(dǎo)體特性決定其制造過(guò)程需要有潔凈度要求，環(huán)境中雜質(zhì)對(duì)半導(dǎo)體的特性有著改變或破壞其性能的作用，而雜質(zhì)各式各樣，如金屬離子會(huì)破壞半導(dǎo)體器件的導(dǎo)電性能，塵埃粒子破壞半導(dǎo)體器件的表面結(jié)構(gòu)等，所以在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)什么都需要嚴(yán)格控制。為此深圳賽納威開(kāi)始開(kāi)發(fā)多通道遠(yuǎn)程遙測(cè)激光塵埃粒子計(jì)數(shù)器及遠(yuǎn)程監(jiān)控系統(tǒng)，它可以即時(shí)檢測(cè)到單位體積空氣中的顆粒物數(shù)量，還能實(shí)現(xiàn)7*24實(shí)時(shí)遠(yuǎn)程自動(dòng)監(jiān)測(cè)，并以其快速、準(zhǔn)確的特點(diǎn)，在電子行業(yè)、制藥車(chē)間、半導(dǎo)體、光學(xué)或嚴(yán)謹(jǐn)機(jī)械加工等潔凈室環(huán)境自動(dòng)監(jiān)測(cè)系統(tǒng)中得到了廣泛的應(yīng)用。