36凈化工程無塵車間
海博爾凈化工程公司***太陽能電池片、單晶硅、單晶硅等無塵車間凈化工程。
行業會長單位,空氣潔凈技術專家委員會主任委員單位,電子潔凈技術專委會主任委員單位。
公司擁有多項***技術專利。注冊資金5100萬元,始創于1989年9月。
太陽能電池片生產車間的潔凈度一般為萬級、十萬級,核心部分千級。太陽能電池片的生產一般流程為:裝片 → 超聲波清洗→ 制絨 → 去離子水清洗 → IPA 脫水 → 擴散?→ 等離子體邊緣刻蝕?→ 去磷硅玻璃 →?IPA 脫水→?PECVD →?電極絲網印刷及烘干?→ 電極燒結?→ 分類檢測 →?包裝入庫 ,其中擴散、PECVD、燒結是關鍵工序,各工序***制訂嚴格的工藝要求和工藝參數。
無塵室(Clean Room),亦稱為無塵室或清凈室。是指將空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除,并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內,而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。它是污染控制的基礎。沒有無塵室,污染敏感零件不可能批量生產。
無塵主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造。按照慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來規定。也就是說所謂無塵并非沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的負面影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個以下,就達到了無塵標準的A級。目前應用在芯片級生產加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A級,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產上。5uM及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個以內,這也就是業內俗稱的1K級別。