1.隔間凈化車間隔間分為三個部分：更衣室、千級區和百級區、更衣室和千級區、千級區和百級區。凈化車間和室外設有物品通道傳輸窗口。當人員進入凈化車間時，應先通過空氣淋浴房，將人體帶來的灰塵吹走，減少人員帶入凈化車間的灰塵，傳輸窗口是吹掃物體的灰塵，達到落塵的效果。

        2.風系風系統流程圖系統采用全新風空調箱+FFU系統:全新風空調箱結構，即風機和過濾器。HEPA用于千級區過濾器，過濾效率為99.997%。

        3.100級電子車間凈化的水系統水系統流程圖冰水系統分為一次側和二次側，一次側冰水水溫7-12度，供應空調箱和風機盤管，二次側冰水供應干盤管系統12-17度。一次側冰水和二次冰水是由板式熱交換器連接的兩種不同的電路。

        板式換熱器原理：

        干盤管:不結露的盤管不能直接進入凈化車間，因為凈化車間的溫度在22度，露點溫度在12度左右，所以干盤管的冰水溫度在12-14度。

        4.控制系統(DDC)溫度:干盤管系統控制濕度，空調箱通過傳感信號調節空調箱盤管進水，控制三通閥開度。正壓:根據靜壓傳感信號，自動調節空調箱電機變頻器的頻率。從而調節進入房間的新鮮空氣量。

        5.其它系統不僅僅是空調系統，還包括真空、空氣壓力、氮氣、純水、廢水、二氧化碳系統、工藝排氣系統。

電子行業為何要建設凈化車間

百級電子車間凈化參數與裝修原理