半導(dǎo)體材料無(wú)塵車間還要去濕以保障產(chǎn)品質(zhì)量度
2022-05-24 來(lái)自: 海博爾凈化工程有限公司 瀏覽次數(shù):253
半導(dǎo)體材料無(wú)塵車間還要去濕:無(wú)塵車間又稱之為凈化車間,如今廣泛運(yùn)用于電子器件構(gòu)件、半導(dǎo)體材料、生物醫(yī)藥、生物科技等生產(chǎn)加工制造行業(yè)。由于在凈化車間開(kāi)展生產(chǎn)制造,證商品的成功率和精mi度,不容易出現(xiàn)環(huán)境污染。清理生產(chǎn)車間蒸氣氣體空氣濕度規(guī)律性很高,生產(chǎn)加工工業(yè)清理生產(chǎn)車間蒸氣氣體空氣濕度規(guī)律性不一樣,半導(dǎo)體器件清理生產(chǎn)車間蒸氣氣體空氣濕度規(guī)律性為45%60%rh,尺寸公差誤差為1%,超過(guò)或低于1%。
那么氣體空氣濕度高過(guò)生產(chǎn)加工規(guī)定,對(duì)無(wú)塵車間會(huì)有什么方面的傷害呢?zui開(kāi)始就是病原菌會(huì)不斷的發(fā)肓,那般便會(huì)降低無(wú)塵車間的潔凈室等級(jí):我們知道,病原菌和其他外來(lái)物種(黃曲霉菌,病毒性感染,病菌,滿蟲(chóng))在空氣相對(duì)濕度超過(guò)60%的地理環(huán)境中可以 活動(dòng)性地繁殖。一些腸道益生菌在空氣相對(duì)濕度超過(guò)30%時(shí)就可以提升。當(dāng)氣體空氣濕度在40%~60%中間時(shí),病原菌的危害和上上呼吸道感染zui少能夠降低。
次之,較高的空氣相對(duì)濕度會(huì)造成生產(chǎn)線設(shè)備銹蝕,減少使用期。盡管很多工業(yè)設(shè)備的機(jī)殼是由塑膠或不銹鋼板材芯等非金屬材質(zhì)做成的,但在其中很多構(gòu)件依然是由銅或不銹鋼板等金屬材料高分子材料做成的。在高低溫的地形地貌下,零件易銹蝕,進(jìn)而減少工業(yè)設(shè)備的使用期。
再度操縱空氣相對(duì)濕度,能為職工出示舒服的辦公環(huán)境,氣體空氣濕度在40%~60%范疇內(nèi)的舒shi度。空氣相對(duì)濕度過(guò)了高令人覺(jué)得煩悶,而空氣相對(duì)濕度低于30%則會(huì)讓人感覺(jué)干燥,皮膚開(kāi)裂,呼吸道不適以及情感上的比較慢。
zui后就是產(chǎn)品會(huì)潮濕,導(dǎo)致 產(chǎn)品質(zhì)量減少。半導(dǎo)體所應(yīng)用的就是它的單側(cè)導(dǎo)電能力,一旦潮濕就變成電導(dǎo)體,很容易出現(xiàn)短路故障常見(jiàn)故障情況,傷害產(chǎn)品特點(diǎn)。而且空氣相對(duì)濕度提高還會(huì)繼續(xù)再次傷害到半導(dǎo)體輔助材料的其他特點(diǎn),以半導(dǎo)體的光刻工藝為事例,實(shí)驗(yàn)確認(rèn),光刻工藝的粘性將隨著著空氣相對(duì)濕度的上升而迅速減少。
所以說(shuō)半導(dǎo)體的無(wú)塵車間盡量要做好控濕工作上,在南風(fēng)天跟梅雨季節(jié)那般潮濕的狀況下,要想jing確的保證半導(dǎo)體的生產(chǎn)加工規(guī)定,就盡量運(yùn)用專ye的除濕機(jī)械設(shè)備來(lái)防潮除濕。除濕機(jī)就是專ye消除濕冷的機(jī)械設(shè)備,采用冷凍除濕專ye性,除濕速率更快,操作過(guò)程簡(jiǎn)單方便快捷,是半導(dǎo)體無(wú)塵車間控濕的好選擇。
凈化車間優(yōu)化系統(tǒng)運(yùn)行進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)車間安quan生產(chǎn)