在微電子生產技術的無塵車間內，根據產品的生產工藝將潔凈室分為鞋交換區域、風淋室、貨物淋浴室、半成品區域、成品組裝區域、成品包裝區域等多個區域。 各地區符合標準的清潔標準并在技術上配置，這些是無塵車間標準的基本之一。

　　氣流速度及其均勻度的檢測是潔凈室效果的其他諸檢測的前提，目的是明確單向流潔凈室工作場所的平均氣流流通度及其均勻性。

　　1 .室內潔凈度的檢查：潔凈度的檢查為了決定清潔環境能達到的空氣潔凈度水平，可以用粒子計數器進行檢查。

　　2 .自我清潔時間的檢查：通過決定自我清潔時間，明確在潔凈室內部發生污染的情況下恢復原來清潔度的能力。

　　3 .照度檢測：照度檢測的目的是明確潔凈室的照度水平和照度的均勻性。

　　4 .振動檢測：振動檢測的目的是查明潔凈室各自表明的振幅。

　　5 .溫濕度的檢查：溫濕度的檢查目的是將溫度、濕度調整到yi定限度內的能力。 其內容是檢測無塵車間的送風溫度，檢測代表性測量點的空氣溫度，檢測潔凈室中xin點的空氣溫度，檢測傳感器的空氣度，檢測室內空氣相對溫度，檢測回風溫度。

　　作為清潔環境的重要一環是防止微粒子進入。 每個作業人員進入潔凈室之前，更換無灰塵、無靜電的特殊導電性纖維材質的防靜電潔凈服、防靜電帽、防靜電鞋、防靜電手套、防塵口罩、潔凈布等，在風淋室用高速清潔空氣除去附著在衣服表面的粒子，

　　無塵車間的標準是利用空氣凈化技術對微生物污染進行不同程度的控制，控制空間環境中的空氣潔凈度達到適合各種凈化的要求。 另外，可以提供適當的溫濕度，創造清新清潔舒shi、細菌數量低的空間環境，提供舒shi的氣流，室內溫度可以控制在22~26，濕度可以控制在40%~60%之間，室內空氣清新、清爽、環境潔凈室是正壓氣流(水平低，對相鄰潔凈區的壓力為10-15Pa  )，防止外來污染物的侵入，大幅降低室內清潔率。

無塵車間潔凈度要點

無塵車間如何做好清潔衛生及保養管理