隨著電子行業的飛速發展，潔凈技術也在飛速的發展中。潔凈空調系統是實現潔凈室控制的主要手段。潔凈室送風和回風設計是影響潔凈室是否達標的重要因素，本文主要從回風系統入手，提出在潔凈室回風系統設計中易出現的問題，對其分析并提出解決辦法。

        1 回風口位置設置常見問題

        目前，非單向流是潔凈室氣流組織的主要采用方式，即髙效送風口頂送（或側上送）側下回風；髙效送風口布置形式為吊頂均布，或是布置于受保護的工藝生產線上方，回風口布置于側墻下方。《工業潔凈廠房設計規范》GB50457-2008指出：回風口位置宜遠離潔凈工作臺；易產生污染的工藝設備附近應設排風口；有局部排風裝置或需排風的工藝設備，宜布置在潔凈室下風側。

        由于送風口的布置是影響房間氣流組織及空調參數的主要因素，因此，許多潔凈室回風口布置存在以下幾點問題：有的回風口隨意布置于空余墻角或墻邊，忽略了氣流流向對工藝操作面的影響；有的設計回（排）風口又遠離產生污染的工藝設備（如粉碎機等），這些工藝設備產生的污染空氣會流到相對潔凈區域甚至全潔凈室；有的回風口布置的太少，回風速度偏大，導致全室空氣流向一處，必然存在死角，潔凈空氣難以到達。

        因此，在潔凈室空調設計時，要同時參考建筑底圖和工藝布置圖，根據工藝要求進行設計：根據生產工藝特點，潔凈度要求高的，回風口布置在遠離設備側；產塵或產生其它污染氣體的，回（排）風口布置在zui靠近設備處；同時，風速不宜過大，以不大于2m/s為宜，這樣，才能保證潔凈室的潔凈度，不增加衛生死角，zui大限度的保證潔凈室工藝設備的an全有效使用。

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