隨著我國超大規模集成電路產業的發展，尤其是第五代TFT-LCD產業的發展，以及其它行業對空氣凈化要不熟的不斷提高，潔凈廠房的建設越來越多，凈化級別不斷提高，凈化面積越來越大，而建設方對施工周期要求越來越短，合理的施工組織計是建設一個快速、合格的潔凈廠房的保證。本文以某大型潔凈生產廠房為例介紹潔凈廠房安裝工程過程中所采取的潔凈保證措施。

        1．大型超凈廠房的結構特點該潔凈廠房采用目前guo際上liu行的新風機+FFU（風機過濾單元）+FCU（風機盤管）的形式，保證凈化的循環風由FFU實現，房間內的溫濕度由新風機組和FCU來保證，在空間立面上分成以下幾個區域。

        （1）.下技術夾層：高度為5.3米，其主要用途為設置氣體、給排水等動烽設備，敷設管道電氣線路，放置新風機組和FCU等。地面涂層為環氧自流坪，四周用金屬壁板封閉。

        （2）.生產層：高度為5.4米，為工藝工用室、設備安裝區，它是整個廠房的核心空氣處于垂直層流狀態的功能。活動地板鋪設在井字梁上，井字梁表面用水性環氧涂料進行涂裝處理。吊頂部分為格柵吊頂系統，局部鋪高FFU，其余區域鋪設盲板，與上靜壓箱層隔開。工作層四周金屬壁板封閉與非潔凈區隔開。

        （3）.靜壓箱層：高度為2.5米，對由經回風夾道進入區域的新風和回風的混合風進行均壓處理，并經FFU加壓過濾后送入工作區，同時在該區域設置了自動噴淋管道系統（工作層用）和電氣系統。靜箱層上部用夾芯金屬板與上部鋼屋架非凈化部分分隔開來。

凈化潔凈室常用的三種氣流類型

潔凈室凈化工程的發展歷史和未來前景