超大規(guī)模集成電路凈化車間如何設(shè)計(jì)?近年來(lái)在超大規(guī)模集成電路生產(chǎn)用要求嚴(yán)格的潔凈室建造中，潔凈室的凈化空調(diào)系統(tǒng)采用集中新風(fēng)處理和循環(huán)空氣系統(tǒng)以及微環(huán)境裝置，潔凈室一般采用“三層”結(jié)構(gòu)，潔凈生產(chǎn)區(qū)在中層，在潔凈生產(chǎn)區(qū)的下部為下技術(shù)夾層(高度約5.0m左右)，主要作為回風(fēng)靜壓箱，并安裝大部分水、氣、電管線和部分公用動(dòng)力設(shè)備;在潔凈生產(chǎn)區(qū)的上部為上技術(shù)夾層，主要作為送風(fēng)靜壓箱、送風(fēng)過(guò)濾機(jī)組以及循環(huán)空氣處理裝置等。

　　這類潔凈室通常均采用裝配化結(jié)構(gòu)，潔凈室的頂棚采用由金屬骨架(鋁合金或不銹鋼)、空氣過(guò)濾器、盲板以及與屋頂鋼架或混凝土屋架附加的鋼結(jié)構(gòu)組成，頂棚結(jié)構(gòu)覆蓋了整個(gè)潔凈生產(chǎn)區(qū)，是掛在鋼結(jié)構(gòu)上可以根據(jù)要求調(diào)整水平等;頂棚尺寸按所采用的空氣過(guò)濾器或過(guò)濾機(jī)組、盲板尺寸確定，而過(guò)濾器、盲板則按工藝要求的潔凈室的分隔進(jìn)行布置;若工藝要求分隔進(jìn)行調(diào)整、變更時(shí)，過(guò)濾器、盲板可以方便地隨之變化。

　　根據(jù)工藝要求的潔凈室的潔凈度等級(jí)，可調(diào)整過(guò)濾器、盲板的布置以及隨之按要求實(shí)現(xiàn)不同的室內(nèi)氣流流型。

　　通常有兩種過(guò)濾器頂棚形式，即“干式”和“液槽式”。干式中的過(guò)濾器與盲板或頂棚格柵的密封靠彈性密封墊，采用壓緊裝置壓緊進(jìn)行密封;液槽式是在專用的液槽內(nèi)充人非牛頓液密封膠進(jìn)行密封，過(guò)濾器的特殊刀口插人液槽形成液封，進(jìn)行密封。

　　潔凈室的分隔板(墻)將潔凈廠房中的工藝核心區(qū)與服務(wù)區(qū)分開(kāi)，潔凈室的分隔系統(tǒng)是由框架結(jié)構(gòu)、單層或雙層玻璃墻和門單元組成;框架一般為鋁合金制作，典型的墻板涂有導(dǎo)電漆的鋼板，玻璃墻板是由導(dǎo)電的疊層透明玻璃、型材及其密封裝置所構(gòu)成;有玻璃窗的門的四周及與地面?zhèn)染O(shè)密封條;金屬板表面畢須光滑、可清潔、耐沖擊，且不掉塵。

凈化車間工程應(yīng)如何保證質(zhì)量

車間凈化工程具體有哪些施工內(nèi)容?