潔凈室的發(fā)展歷程

       現(xiàn)代無塵室是由美國物理學家威利斯·惠特菲爾德發(fā)明的。惠特菲爾德作為桑迪亞guo家實驗室的雇員，于1966年為無塵室設計了zui初的設計方案。在惠特菲爾德發(fā)明之前，早期的無塵室經(jīng)常遇到顆粒和不可預測的氣流的問題。Whitfield設計的無塵室具有恒定的且經(jīng)過嚴格過濾的氣流來保持空間內(nèi)的潔凈。

       硅谷的大部分集成電路制造設施由三家公司制造:MicroAire，PureAire和Key Plastics。他們制造了層流裝置，手套箱，潔凈室和空氣淋浴器，以及用于集成電路“濕法工藝”建造的化學罐和工作臺。這三家公司也是將特氟龍用于氣嗆，化學泵，洗滌器，水槍和其他集成電路生產(chǎn)所需設備的先驅(qū)。William（Bill）C.McElroyJr.曾擔任三家公司的工程經(jīng)理，制圖室主管，QA/QC和設計師，他的設計為當時的技術(shù)增加了45項原始專利。

        潔凈室氣流原理

       潔凈室通過使用HEPA或ULPA過濾器，采用層流（單向流）或湍流（亂流，非單向流）氣流原理，來控制空氣中的顆粒。

層流或單向氣流系統(tǒng)將過濾的空氣以恒定的流向下或水平方向引導到位于潔凈室地板附近墻壁上的過濾器，或通過凸起的穿孔地板板進行再循環(huán)。層流空氣流動系統(tǒng)通常在潔凈室天花板的80%上使用，以保持恒定的空氣。不銹鋼或其他非脫落材料用于構(gòu)造層流空氣流動過濾器和罩，以防止多余的顆粒進入空氣。

       湍流，或非單向空氣流動使用層流空氣流動罩和非特定速度過濾器來保持潔凈室中的空氣在恒定的運動，盡管不是所有的方向相同。粗糙的空氣試圖捕獲可能存在于空氣中的顆粒，并將它們驅(qū)趕到地板上，在地板上它們進入過濾器并離開潔凈室環(huán)境。

       有的地方也會增加矢量潔凈室：在房間的側(cè)上角送風，采用扇形高效過濾器，也可以用普通高效過濾器配扇形送風口，在另一側(cè)的下部設回風口，房間的高長比一般在0.5~1之間為宜。這種潔凈室也可以達到5級（100級）潔凈度。

潔凈室常規(guī)注意事項

潔凈室潔凈車間廣泛應用于哪些行業(yè)？