三、清潔廠房應設置備用照明；備用照明是用來保證正常照明失效時能夠繼續進行正常活動的照明。對于配備柴油發電機裝置的清潔廠房，備用照明電源可由柴油發電機提供；對于沒有柴油發電機裝置的無塵廠房，備用照明電源可與正常照明的供電干線連接到不同的變壓器，或與正常照明的供電干線自變電站的低壓屏幕（或母線）分開。

        清潔車間的備用照明應按比例均勻布置，照度不得低于一般照明的10%。燈具可與無塵車間的一般照明燈具型號相同。帶電池的燈具通常作為正常照明工作，停電時自動轉入應急照明。該方法功能獨立，布線簡單，應用靈活，受外部電源限制較小。另一種流行的方式是集中電源應急照明，由集中電池電源裝置為分散的應急照明燈（無電池）供電。在正常狀態下，由城市供電。當城市電源停電時，應急電源將自動切斷。市電恢復供電時，電源裝置自動轉化為市電供電。集中電源應急照明的優點是維護管理方便，使用壽命長，電源電壓穩定性強，保護功能完善，起動速度快，占地面積小，環保。缺點需要另一條線路，不如自帶電源的應急照明靈活。一旦出現故障，影響范圍很大。與自帶電源應急照明相比，綜合價格相似，略便宜，值得在凈化工程設計中推廣。

        四、清潔廠房照明節能：凈化廠房照明要求高于一般廠房，室內天花板短，照明能耗大，一般采用熒光燈作為光源更合適。但選擇不同種類的熒光燈管，對提高光效、節能也很重要。選擇電子鎮流器或節能電感鎮流器也可以達到節能的目的。與傳統電感鎮流器相比，熒光燈電子鎮流器和節能電感鎮流器功耗小，能效因素高，可以明顯節約電費，但價格高。照明節能措施包括：選擇合理的照明標準值；選擇合適的照明方法，照明要求高的地方采用混合照明；合理選擇照明控制方法，根據照明使用特點分區控制照明，適當增加照明開關點。

        五、潔凈廠房照明布線應注意的問題：潔凈廠房照明布線應遵循隱蔽的原則，如各種電氣線路和轉業管道。潔凈室的氣流類型不同，其建筑結構也不同。非單向流潔凈室一般只有技術夾層或天花板；垂直單向流潔凈室設有上下技術夾層，上技術夾層為送風靜壓箱、循環風處理裝置、髙效過濾器、部分電力、照明、通信管道；下技術夾層為回風靜壓箱（回風管），一般敷設水管、氣體管道、電氣管道、電纜橋架、封閉母線等；與潔凈室相鄰的技術夾層或技術豎井敷設垂直管道或不適合放置在潔凈廠房的輔助生產設備。照明配電箱通常位于天花板上方的技術夾層或技術夾層中，容易接近負荷眾心，水平布線短，隱蔽。只有天花板的潔凈室，天花板內的管道復雜。敷設電氣管道時，注意遠離爆炸性氣體管道或采取相關措施；畢須安裝在潔凈室的照明配電箱和開關應盡可能隱蔽。電線和電纜管道畢須通過天花板密封，以防止天花板內的灰塵和細菌進入潔凈室。

這3個步驟直接影響無塵車間安全事故！！！

無塵車間如何對半導體材料除濕？