潔凈室的溫度和濕度主要根據客戶的加工工藝要求來確定。在滿足加工工藝要求的情況下，工廠凈化工程的手選應考慮人的舒.適度。隨著空氣潔凈度要求的提高，工藝對溫度和濕度的要求越來越高，畢須達到一定的溫度和濕度水平。例如，在大規模集成電路生產的光刻曝光過程中，玻璃和硅片作為掩膜板材料的熱膨脹系數差異越來越小。硅片直徑100um，溫度上升1度，造成0.24um線性膨脹，因此畢須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗后，會對產品造成污染，尤其是怕鈉的半導體車間，這種車間不能超過25度。

        濕度過高導致的問題更多。當相對濕度超過55%時，冷卻水管壁會結露，如果發生在京密裝置或電路中，會造成各種事故。當相對濕度為50%時，容易生銹。凈化工程控制溫濕度的具體措施是什么？

        然而，對于大多數清潔空間，為了防止外部污染，需要保持內部壓力(靜壓)高于外部壓力(靜壓)。維持壓差一般應符合下列原則：

        1.高潔凈度空間的壓力高于相鄰低潔凈度空間。

        2.相通潔凈室之間的門應打開到潔凈度高的房間。

        3.潔凈空間的壓力高于非潔凈空間。

        保持壓差依賴于新風量，這種新風量應能補償在這種壓差下從縫隙中漏出的風量。因此，壓力差的物理意義是風量通過潔凈室的各種縫隙時的阻力。

        對于亂流潔凈室，由于主要依靠空氣稀釋來減少室內污染，主要采用通風次數的概念，而不是直接采用速度的概念，但對室內氣流速度也有以下要求:

        1.送風口出口氣流速度不宜過大，與單純的空調房相比，要求速度衰減更快，擴散角度更大。

        2.吹過水平面的氣流速度(如側送時的回流速度)不宜過大，以免吹起表面顆粒回流，造成再污染，一般不宜干燥0.2m/s。

潔凈車間的滅菌處理

如何提高潔凈車間的清潔度？