光學微電子無塵凈化車間設計布局及裝修要求
2022-01-15 來自: 海博爾凈化工程有限公司 瀏覽次數:435
目前,光學微電子無塵凈化車間主要用于工業半導體、電子行業等。與其他行業相比,微電子超凈無塵車間的設計理念更高。以下簡要介紹了光學微電子行業無塵凈化車間的設計布局和裝修要求:
電子無塵凈化車間。
一、光學微電子超凈無塵車間平面布局要求。
1.凈化車間清潔生產區:清潔等級設置為百級、千級或萬級。
2.無塵生產輔助房:潔凈等級設置為1萬、10萬,一般包括人留進出潔凈房、材料進出潔凈區和部分車間辦公生活區。
3.超凈化車間管理區:清潔等級設置為10萬或30萬,一般包括辦公室、會議室、值班室和休息區。
4.車間生產專用設備區:該區域對空氣凈化等級沒有要求,但需要與凈化車間設置有效的物理或空氣隔離。該區域主要設置凈化空調室、電氣室、純水室和生產空氣室。
電子無塵凈化車間。
二、光學微電子超凈無塵車間裝修要求。
1.車間吊頂材料:采用FFU盲板或防火彩鋼板,吊頂內畢須有上人,對承重進行詳細技術。
2.車間墻面裝飾材料:采用防火彩鋼板,彩鋼板厚度50mm,可盡可能有效地適用于場地占地面積。彩鋼板安裝時需要接地,以達到排放靜電的功能。
3.車間地面裝修:一般采用環氧自流平或聚氯乙烯卷材,但上述兩種材料畢須在無塵車間進行抗靜電處理。