目前，光學(xué)微電子無(wú)塵凈化車間主要用于工業(yè)半導(dǎo)體、電子行業(yè)等。與其他行業(yè)相比，微電子超凈無(wú)塵車間的設(shè)計(jì)理念更高。以下簡(jiǎn)要介紹了光學(xué)微電子行業(yè)無(wú)塵凈化車間的設(shè)計(jì)布局和裝修要求:

         電子無(wú)塵凈化車間。

         一、光學(xué)微電子超凈無(wú)塵車間平面布局要求。

         1.凈化車間清潔生產(chǎn)區(qū):清潔等級(jí)設(shè)置為百級(jí)、千級(jí)或萬(wàn)級(jí)。

         2.無(wú)塵生產(chǎn)輔助房:潔凈等級(jí)設(shè)置為1萬(wàn)、10萬(wàn)，一般包括人留進(jìn)出潔凈房、材料進(jìn)出潔凈區(qū)和部分車間辦公生活區(qū)。

         3.超凈化車間管理區(qū):清潔等級(jí)設(shè)置為10萬(wàn)或30萬(wàn)，一般包括辦公室、會(huì)議室、值班室和休息區(qū)。

         4.車間生產(chǎn)專用設(shè)備區(qū):該區(qū)域?qū)?a href="/Article-detail-id-77024.html" title="空氣凈化">空氣凈化等級(jí)沒有要求，但需要與凈化車間設(shè)置有效的物理或空氣隔離。該區(qū)域主要設(shè)置凈化空調(diào)室、電氣室、純水室和生產(chǎn)空氣室。

         電子無(wú)塵凈化車間。

         二、光學(xué)微電子超凈無(wú)塵車間裝修要求。

         1.車間吊頂材料:采用FFU盲板或防火彩鋼板，吊頂內(nèi)畢須有上人，對(duì)承重進(jìn)行詳細(xì)技術(shù)。

         2.車間墻面裝飾材料:采用防火彩鋼板，彩鋼板厚度50mm，可盡可能有效地適用于場(chǎng)地占地面積。彩鋼板安裝時(shí)需要接地，以達(dá)到排放靜電的功能。

         3.車間地面裝修:一般采用環(huán)氧自流平或聚氯乙烯卷材，但上述兩種材料畢須在無(wú)塵車間進(jìn)行抗靜電處理。