超大規模集成電路凈化車間如何設計?近年來在超大規模集成電路生產用要求嚴格的潔凈室建造中，潔凈室的凈化空調系統采用集中新風處理和循環空氣系統以及微環境裝置，潔凈室一般采用“三層”結構，潔凈生產區在中層，在潔凈生產區的下部為下技術夾層(高度約5.0m左右)，主要作為回風靜壓箱，并安裝大部分水、氣、電管線和部分公用動力設備;在潔凈生產區的上部為上技術夾層，主要作為送風靜壓箱、送風過濾機組以及循環空氣處理裝置等。

　　這類潔凈室通常均采用裝配化結構，潔凈室的頂棚采用由金屬骨架(鋁合金或不銹鋼)、空氣過濾器、盲板以及與屋頂鋼架或混凝土屋架附加的鋼結構組成，頂棚結構覆蓋了整個潔凈生產區，是掛在鋼結構上可以根據要求調整水平等;頂棚尺寸按所采用的空氣過濾器或過濾機組、盲板尺寸確定，而過濾器、盲板則按工藝要求的潔凈室的分隔進行布置;若工藝要求分隔進行調整、變更時，過濾器、盲板可以方便地隨之變化。

　　根據工藝要求的潔凈室的潔凈度等級，可調整過濾器、盲板的布置以及隨之按要求實現不同的室內氣流流型。

　　通常有兩種過濾器頂棚形式，即“干式”和“液槽式”。干式中的過濾器與盲板或頂棚格柵的密封靠彈性密封墊，采用壓緊裝置壓緊進行密封;液槽式是在專用的液槽內充人非牛頓液密封膠進行密封，過濾器的特殊刀口插人液槽形成液封，進行密封。

　　潔凈室的分隔板(墻)將潔凈廠房中的工藝核心區與服務區分開，潔凈室的分隔系統是由框架結構、單層或雙層玻璃墻和門單元組成;框架一般為鋁合金制作，典型的墻板涂有導電漆的鋼板，玻璃墻板是由導電的疊層透明玻璃、型材及其密封裝置所構成;有玻璃窗的門的四周及與地面側均設密封條;金屬板表面畢須光滑、可清潔、耐沖擊，且不掉塵。

凈化車間工程應如何保證質量

車間凈化工程具體有哪些施工內容?