電子制造車間凈化工程
2022-06-07 來自: 海博爾凈化工程有限公司 瀏覽次數:192
隨著計算機、微電子和信息技術的發展,促進了電子制造業的快速發展,也推動了潔凈室技術的發展,同時對潔凈室的設計提出了更高的要求,電子制造清潔工廠的設計是一種綜合技術,只有充分了解電子制造清潔工廠的設計特點,設計合理,降低電子制造行業的二次產品率,提高生產效率。
電子制造廠萬級潔凈室廠房特點:
潔凈度等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設備排氣根據需要控制,照度、潔凈室截面風速根據設計或規范控制。此外,這種潔凈室對靜電的要求非常嚴格。對濕度的要求尤其嚴格。由于過于干燥的工廠容易產生靜電,導致CMOS集成損壞。一般來說,電子工廠的溫度應控制在22℃左右,相對濕度應控制在50-60%之間(特殊清潔車間有相關的溫度和濕度規定)。此時,靜電可以有效消除,人們可以感到舒shi。芯片生產車間、集成電路無塵室、磁盤制造車間是電子制造業潔凈室的重要組成部分。由于電子產品的制造,在生產過程中對室內空氣環境和質量的要求非常嚴格,主要是控制顆粒和浮塵。同時,對其環境的溫度和濕度、新鮮空氣量和噪音作出了嚴格的規定。
●1000級電子制造廠潔凈室的噪聲級(空態):不應大于65dB(A)
●電子廠潔凈室垂直流潔凈室布比不小于60%,水平單向流潔凈室不小于40%,否則為局部單向流。
●潔凈室與室外之間的靜壓差不得小于10pa,潔凈區與不同空氣潔凈度之間的靜壓差不得小于5pa。
●電子制造業萬級潔凈室的新鮮空氣量應取以下兩項中zui大值:
●補償室內排氣量和保持室內正壓所需的新鮮空氣量之和。
●確保潔凈室每人每小時新鮮空氣量不小于40m3。
電子制造業潔凈室凈化空調系統加熱器應配備新鮮空氣和超溫電源保護。如果采用點加濕,應設置無水保護。在寒冷地區,新風系統應設置防凍保護措施。無塵室的供氣量應取以下三個zui大值:
●保證電子廠無塵室空氣潔凈度等級的送風量:
●電子廠潔凈室的送風量根據熱、濕負荷計算確定:
●提供給電子制造商潔凈室的新鮮空氣量: