什么是FAB無塵車間?
2021-08-13 來自: 海博爾凈化工程有限公司 瀏覽次數(shù):426
如今許多產(chǎn)品或行業(yè)都會有自己的英文名稱,為了提高辨識度和辨識度,他們會用首字母的簡稱來稱呼,比如FAB無塵室,這意味著什么?以下海博爾凈化為您解答。
FAB潔凈室是芯片生產(chǎn)加工凈化廠的一般稱呼。tsmc、中.心國及生產(chǎn)線被稱為FAB。凈化廠不同等級氣體潔凈度等級的空氣過濾器的采用、配置要點(diǎn):對于300000級空氣過濾解決方案,可以選擇亞高.效送風(fēng)口代替高.效送風(fēng)口的氣體潔凈度等級為100級、10000級和100000級空氣過濾解決方案,應(yīng)選擇初、中、高.效送風(fēng)口三級過濾裝置。
FAB半導(dǎo)體材料芯片潔凈室工作環(huán)境的規(guī)定:由于電子設(shè)備在和生產(chǎn)過程中對室內(nèi)空氣質(zhì)量、自然環(huán)境和質(zhì)量的規(guī)定級其嚴(yán)格,關(guān)鍵目標(biāo)是控制顆粒和灰塵,同時(shí)對自然環(huán)境的溫度、濕度、新鮮空氣量和噪音也有嚴(yán)格的要求。
1、室內(nèi)噪聲水平(空態(tài)):不得超過65dB(A)。
2、垂直流凈化室的布滿比不得低于百分之60,水平單邊流凈化室不得低于百分之40,否則部分單邊流動。
3、與室外負(fù)壓差不得低于10Pa,不同氣體潔凈度水平的潔凈區(qū)和非潔凈區(qū)之間的負(fù)壓差不得低于5Pa。
4、潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)選擇以下兩項(xiàng)中的zui高值:
5、補(bǔ)償室內(nèi)風(fēng)量,維持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。
6、確保供給潔凈室內(nèi)每個(gè)人每小時(shí)間的新鮮空氣量不得低于40m3。如果設(shè)置新鮮空氣量,應(yīng)設(shè)置新鮮空氣供給系統(tǒng),并設(shè)置新鮮空氣供給系統(tǒng)。
7、如果沒有新鮮空氣供給系統(tǒng)的新鮮空氣量,應(yīng)設(shè)置新鮮空氣供給系統(tǒng),應(yīng)設(shè)置新鮮空氣新鮮空氣供給系統(tǒng)。
半導(dǎo)體材料(FAB)凈化室的空氣濕度目標(biāo)大約控制在百分之30-50的范圍內(nèi),允許偏差在百分之1的狹窄范圍內(nèi),如光刻技術(shù)區(qū)或遠(yuǎn)紫外線解決(DUV)區(qū)甚至更小——其他區(qū)域可以釋放壓力到百分之5。
上述就是海博爾凈化工程有限公司為您介紹的FAB無塵室,希望對您有所幫助。這只是一個(gè)英文詞匯的縮寫,簡稱FAB,意思是芯片加工車間,對業(yè)界十分重要。