什么是FAB無塵車間?
2021-08-13 來自: 海博爾凈化工程有限公司 瀏覽次數:455
如今許多產品或行業都會有自己的英文名稱,為了提高辨識度和辨識度,他們會用首字母的簡稱來稱呼,比如FAB無塵室,這意味著什么?以下海博爾凈化為您解答。
FAB潔凈室是芯片生產加工凈化廠的一般稱呼。tsmc、中.心國及生產線被稱為FAB。凈化廠不同等級氣體潔凈度等級的空氣過濾器的采用、配置要點:對于300000級空氣過濾解決方案,可以選擇亞高.效送風口代替高.效送風口的氣體潔凈度等級為100級、10000級和100000級空氣過濾解決方案,應選擇初、中、高.效送風口三級過濾裝置。
FAB半導體材料芯片潔凈室工作環境的規定:由于電子設備在和生產過程中對室內空氣質量、自然環境和質量的規定級其嚴格,關鍵目標是控制顆粒和灰塵,同時對自然環境的溫度、濕度、新鮮空氣量和噪音也有嚴格的要求。
1、室內噪聲水平(空態):不得超過65dB(A)。
2、垂直流凈化室的布滿比不得低于百分之60,水平單邊流凈化室不得低于百分之40,否則部分單邊流動。
3、與室外負壓差不得低于10Pa,不同氣體潔凈度水平的潔凈區和非潔凈區之間的負壓差不得低于5Pa。
4、潔凈室內的新鮮空氣量應選擇以下兩項中的zui高值:
5、補償室內風量,維持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
6、確保供給潔凈室內每個人每小時間的新鮮空氣量不得低于40m3。如果設置新鮮空氣量,應設置新鮮空氣供給系統,并設置新鮮空氣供給系統。
7、如果沒有新鮮空氣供給系統的新鮮空氣量,應設置新鮮空氣供給系統,應設置新鮮空氣新鮮空氣供給系統。
半導體材料(FAB)凈化室的空氣濕度目標大約控制在百分之30-50的范圍內,允許偏差在百分之1的狹窄范圍內,如光刻技術區或遠紫外線解決(DUV)區甚至更小——其他區域可以釋放壓力到百分之5。
上述就是海博爾凈化工程有限公司為您介紹的FAB無塵室,希望對您有所幫助。這只是一個英文詞匯的縮寫,簡稱FAB,意思是芯片加工車間,對業界十分重要。