影響潔凈室設計、建造成本的十個因素(四)
2022-08-15 來自: 海博爾凈化工程有限公司 瀏覽次數:259
5.空氣壓差。花費因素變量:-0.041至0.08
潔凈室增壓是bi須的,它的作用是確保潔凈室遠離其臨近區域的污染,控制有害污染物的流向,防止不同區域間的交叉污染,并幫助保持所要求的溫度和濕度水平。
潔凈室與相關走廊、設施內的其他區域的壓差應維持在0.25到0.005英寸水柱(in.w.g.)之間。一般制藥企業所要求的壓差值比這更高,在不同區域之間采用層疊壓差來避免交叉污染。在不同的區域間安裝一系列的層疊式氣閘和允許空氣快速擴散的正壓門,從而產生壓差。好的微電子潔凈室設計中,通常在潔凈室的入口安裝一個半密封的氣閘來使壓差保持在0.02到0。005in.w.g.之間。更衣間和穿衣間用氣閘分離。入口入的機械風淋相對于它的必要性而言,更是設施文化和潔凈室的原則問題。
許多微電子和光刻潔凈室成功地采用被動氣壓控制,只有在大門全部打開的情況下,入口處的風量維持在每分鐘50到100英尺。一些生物制藥企業要求主動壓差控制,采用補充新風的方式,自動補足通過門泄漏的空氣(當門打開時)。
壓差臨測器用來完成這個任務,監視器可能被安裝在潔凈室外面,而在潔凈室內有一個LED的顯示器,該顯示器帶有一個聲音報警裝置和兩個指示器,可以表示氣壓的正常與否。這種設備在生物制藥潔凈室中有生物限制要求的區域內通常用來測負壓值,而在電子類潔凈室內,通常用來檢測負壓值,而在電子類潔凈室內,通常用來檢測正壓值。它帶有數字壓差顯示器,顯示的jing確度是0.001 in.w.c.,測量壓力值或真空度的范圍是0.5 in.w.c。壓差通過閃亮LED和自動報警裝置來表示。當打開大門時,設備內部有一個可調整的延遲報警時間,用來避免啟動聲音報警裝置。