電子廠房無塵車間凈化工程要求及案例
2021-12-07 來自: 海博爾凈化工程有限公司 瀏覽次數:379
隨著計算機、微電子和信息技術的發展,促進了電子制造業的快速發展,但也促進了潔凈室技術的發展,對潔凈室的設計提出了更高的要求。電子制造業清潔廠房的設計是一項綜合性技術。只有充分了解電子制造業清潔廠房的設計特點,合理設計,才能降低電子制造業的次品率,提高生產效率;
萬級潔凈室電子制造廠的特點:
潔凈度等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設備排氣按需控制、照度、潔凈室截面風速按設計或規范控制,此外,潔凈室對靜電要求級其嚴格。其中對濕度的要求尤為高。由于工廠過于干燥,容易產生靜電,導致CMOS集成損壞。一般來說,電子廠房的溫度應控制在22℃左右,相對濕度應控制在50-60%之間(特殊清潔車間有相關溫濕度規定)。此時能有效消除靜電,使人感到舒是。芯片生產車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是電子制造行業潔凈室的重要組成部分。由于電子產品在制造過程中對室內空氣環境和質量有嚴格的要求,主要以控制顆粒和浮塵為主要對象,對環境溫濕度、新鮮空氣量和噪聲有嚴格的規定。
●電子制造商萬級無塵車間噪聲級(空態):不得超過65dB(A)
●電子廠無塵車間垂直流無塵車間滿布比不小于60%,水平單向流無塵車間不小于40%,否則為局部單向流。
●電子廠無塵車間與室外的靜壓差不應小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區與非潔凈區之間的靜壓差不應小于5Pa。
●電子制造業萬級無塵車間的新鮮空氣量應取以下兩項中的大值:
●補償室內排氣量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。
●確保無塵車間每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。電子制造業無塵車間凈化空調系統加熱器應設置新鮮空氣和超溫斷電保護。如果采用點加濕,應設置無水保護。在寒冷地區,新鮮空氣系統應設置防凍保護措施。無塵室的送風量應取以下三個大值:
●確保電子制造商無塵室空氣清潔度等級的送風量:
●電子廠無塵車間的送風量根據熱濕負荷計算確定:
●向電子制造商無塵車間提供的新鮮空氣量:電子無塵車間凈化原理:氣流→初級空氣過濾器凈化→空調→中級空氣過濾器凈化→風機送風→管道→髙效空氣過濾器凈化出風口→吹入房間→帶走灰塵、細菌等顆粒→回風百葉窗→初級空氣過濾器凈化重復上述過程,達到凈化目的。電子無塵車間參數:
●換氣次數:1萬級≥15次;1萬級≥20次;1000≥30次。壓差:主車間對相鄰房間≥5Pa。
●平均風速:10級,100級0.3-0.5m/s;冬季溫度>16℃;夏季26℃;波動±2℃。
●溫度45-65%;高標準粉末車間濕度約為50%;電子車間濕度略高,避免靜電。
●噪音≤65dB(A);新風補充量為總送風量的10%-30%;照度為300LX。